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晶圓搬運顯微鏡
| 晶圓顯微鏡 | 型號 | AWL046 | AWL068 | |
| 晶圓尺寸（SEMI規(guī)格） | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | ||
| 晶圓最小厚度 | 150um | 180um | ||
| 片盒類型 | 開放式片盒（SEMI Stad.25「26」-slot | |||
| 片盒數(shù)量 | 1Pot | |||
| 檢查模式設(shè)置 | 全檢/奇數(shù)檢/偶數(shù)檢/手動選擇 | |||
| 片盒內(nèi)晶圓掃描 | ● | ● | ||
| 晶圓預(yù)定位 | ● | ● | ||
| 晶圓定位 | 非接觸式定位平面N型槽，支持0°、90°、180°、270°、朝前設(shè)置 | |||
| 檢查功能 | 微觀檢查 | ● | ● | |
| 晶圓宏面檢查 | ● | ● | ||
| 晶圓宏面檢查1 | ● | ● | ||
| 晶圓宏面檢查2 | ● | ● | ||
| 適配顯微鏡 | SOPTOP MX68R金相顯微鏡 | |||
| 載物臺 | ?6英寸四層機械移動平臺，低位手X Y方向同軸調(diào)節(jié)； ?晶圓承片臺，可360°旋轉(zhuǎn)； ?移動行程228mm（X方向）×170mm（Y方向）觀察范圍；170mm×170mm ?帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動。 |
?8英寸四層機械移動平臺，低位手X Y方向同軸調(diào)節(jié)； ?晶圓承片臺，可360°旋轉(zhuǎn)； ?移動行程228mm（X方向）×280mm（Y方向）觀察范圍；210mm×210mm ?帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動。 |
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| 電源 | 1P/220V/16A | |||